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無塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗基本常識

一、無塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、風(fēng)淋室與傳遞窗能把無塵潔凈室內(nèi)的細菌之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。

二、無塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗的原理。潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗是用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說**干凈。潔凈室內(nèi)除了風(fēng)淋室與傳遞窗還有高效過濾器和高效送風(fēng)口，潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此應(yīng)該采用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

三、無塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的更好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域，達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

四，無塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照慣例，無塵凈化**主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分所以風(fēng)淋室與傳遞窗達到標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵室所用的風(fēng)淋室與傳遞窗并非**沒有一點灰塵，還需要加FFU過濾單元和高效送風(fēng)口而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然風(fēng)淋室與傳遞窗這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是*然的要求。

五、風(fēng)淋室與傳遞窗對無塵潔凈室每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的**。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于**，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K**。