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凈化等級(jí)一般分為100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，現(xiàn)在2010年版的GMP凈化車間已經(jīng)不用這個(gè)叫法了，分為ABCD**，分別相對(duì)應(yīng)于98版的幾個(gè)**，通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評(píng)價(jià)凈化**，各個(gè)**有不同的要求，凈化等級(jí)分靜態(tài)、動(dòng)態(tài)兩種。

(一)潔凈室之等級(jí)

**各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和**上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。

209E與209D等**大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合**公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者**冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。潔凈網(wǎng)z:Wg1pj美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，**好的等級(jí)為Class1，**差則為Class8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

(二)潔凈室之定義

潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或潔凈室?！笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。

(三)潔凈室控管之項(xiàng)目

1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3.溫度和濕度之控制。

4.壓力之調(diào)節(jié)。

5.有害氣體之排除。

6.結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

7.靜電之防制。

8.電磁干擾預(yù)防。

9.安全因素之考慮。

10.節(jié)能之考量。

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